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5月27日，呼和浩特市生態(tài)環(huán)境局受理了中船派瑞特種氣體（呼和浩特）有限公司高純電子氣體項目（一期）環(huán)境影響評價文件并予以公示。該項目具體情況如下：
項目名稱：中船派瑞特種氣體（呼和浩特）有限公司高純電子氣體項目（一期）；
建設性質(zhì)：新建；
建設單位：中船派瑞特種氣體（呼和浩特）有限公司；
建設地點：內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托工業(yè)園區(qū)；
項目投資：136300萬元，其中環(huán)保投資6339.7萬元；
建設內(nèi)容及規(guī)模：建設年產(chǎn)高純?nèi)?500噸的生產(chǎn)裝置，年產(chǎn)超純氨10000噸和液氮75000噸的生產(chǎn)裝置。同時配套建設循環(huán)水站、純水軟水制備站、空壓站、冷凍站、污水處理站等公輔工程。
產(chǎn)品方案：
中船派瑞特種氣體（呼和浩特）有限公司是中船（邯鄲）派瑞特種氣體股份有限公司的全資子公司，主要產(chǎn)品為三氟化氮NF3、氨氣NH3、液氮、三氟甲磺酸等。
三氟化氮（NF3）屬于大規(guī)模集成電路的關鍵性輔助氣體之一，可以用作氟化氫激光器的氧化劑，半導體、液晶和薄膜太陽能電池生產(chǎn)過程中的蝕刻劑。隨著因特網(wǎng)、手機的迅速普及，使得芯片的使用率提高，無疑對生產(chǎn)芯片用的刻蝕劑、清洗劑提出了巨大需求，使得三氟化氮的使用量比重越來越大。
