IOL觀察
數據
報告
冷暖智造
EN
7月18日，蚌埠市自然資源和規劃局公示了安徽匯氟新材料科技有限公司年產40噸三氟化氯和40噸氟氮混合氣項目。
公示顯示，該項目位于安徽省蚌埠市淮上經濟開發區淝河北路北側，總投資1億人民幣，分二期建設。其中，一期建設年產 20 噸電子級三氟化氯和 40 噸電子級氟氮混合氣生產裝置（線）各 1 套，計劃 2024 年 2 月前投產；二期再建設年產 20 噸電子級三氟化氯（C1F3）生產裝置（線）1 套，計劃 2024 年 8 月前投產。
據了解，項目產品三氟化氯是迄今為止發現反應活性最強的化合物之一，主要用于半導體芯片領域化學氣相沉積后工序 CVD 反應室內壁、爐管、部件的表面蝕刻清洗環節，也是制備高端含氟高能材料的關鍵基礎材料，其衍生出來的新型氟金屬基含能材料和氟氮氧基含能材料在某些特殊場景具有更大的拓展應用潛力。
