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江西華特改擴建項目含1300噸含氟特氣

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7月17日,九江市生態環境局發布公告,表示已對江西華特永修年產1936.2噸電子特氣項目環境影響評價文件作出審批決定。據悉,該項目6月7日受理,具體情況如下:

項目名稱:江西華特永修年產1936.2噸電子特氣項目

項目性質:改擴建;

建設單位:江西華特電子化學品有限公司;

建設地點:江西永修云山經濟開發區星火工業園江西華特電子化學品 有限公司廠區內;

項目投資:17400萬元,其中環保投資32萬元;

建設內容:建設300噸/年C4F6裝置1套、15噸/年乙硅烷裝置1套、20 噸/年鍺烷裝置1套、1噸/年丙硅烷裝置1套、0.2噸/年乙鍺烷裝置1套、600噸/年環氧乙烷裝置1套以及1000噸/年三氟化氮裝置1套。

產品方案:

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江西華特電子化學品有限公司成立于2013年10月,是廣東華特氣體股份有限公司全資子公司,位于江西省省級化工園區永修云山經濟開發區。公司主要生產電子工業用氣體鍺烷、硒化氫、高純一氧化碳,純化硫化氫、磷烷、四氟化硅、一氟甲烷、六氟乙烷、八氟丙烷、半導體材料、硅基前驅體等,充裝及配制電子化學品和工業氣體,配制標準氣體、混合氣體、混合溶劑,生產鋁合金無縫氣瓶、低溫絕熱氣瓶(杜瓦罐)、低溫液體貯罐、汽化器、天然氣撬等氣體設備及安裝氣體管道工程。

C4F6(六氟-1,3-丁二烯、全氟丁二烯)是一種新型的含氟綠色電子刻蝕氣,具有刻蝕速率快、高深寬比、高選擇性的優點,可以實現近乎垂直的刻蝕加工,為制造小體積、大容量的3D NAND閃存提供了可能;同時六氟-1,3-丁二烯環境友好,GWP<1,大氣壽命1.1天,是當前兼具優異刻蝕性能和環保性能的含氟電子刻蝕氣之一。

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關鍵詞: 江西華特  C4F6  六氟丁二烯   編輯:JZY
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