士蘭微聯(lián)合西安電子科技大學(xué)在ISSCC 2025發(fā)表MEMS陀螺儀論文

2025年2月16日至20日，第72屆ISSCC（國(guó)際固態(tài)電路會(huì)議）在美國(guó)舊金山召開(kāi)。杭州士蘭微電子股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱士蘭微）與西安電子科技大學(xué)朱樟明、鐘龍杰團(tuán)隊(duì)合作的論文《A 3-Axis MEMS Gyroscope with 2.8ms Wake-Up Time Enabled by a 1.5μW Always-On Drive Loop》成功入選，并在傳感器接口電路（Sensor Interfaces）分會(huì)場(chǎng)作為首篇文章進(jìn)行報(bào)告，相關(guān)方案還在 Demo Session 2 分會(huì)場(chǎng)進(jìn)行了現(xiàn)場(chǎng)展示。

ISSCC（International Solid-State Circuits Conference）國(guó)際固態(tài)電路會(huì)議始于 1953 年，是全球?qū)W術(shù)界和工業(yè)界公認(rèn)的集成電路設(shè)計(jì)領(lǐng)域最高級(jí)別會(huì)議。ISSCC 通常是各個(gè)時(shí)期國(guó)際上最尖端集成電路技術(shù)的首發(fā)平臺(tái)，每年吸引數(shù)千名來(lái)自世界各地工業(yè)界和學(xué)術(shù)界的參會(huì)者。

針對(duì) MEMS 陀螺儀的事件驅(qū)動(dòng)應(yīng)用需求，以及常開(kāi)功耗與喚醒時(shí)間的約束，該論文提出了一種基于占空比自動(dòng)尋優(yōu)突發(fā)模式鎖相環(huán)的常開(kāi)驅(qū)動(dòng)接口電路，通過(guò)基于 Bang-bang 控制的自動(dòng)動(dòng)態(tài)占空比調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)了 1.5μW 的超低常開(kāi)功耗、2.8ms 的快速喚醒時(shí)間，以及在 - 40~85°C 寬溫域內(nèi)的穩(wěn)定工作，在國(guó)際上常開(kāi)功耗與喚醒時(shí)間的指標(biāo)上實(shí)現(xiàn)了突破，并首次實(shí)現(xiàn)了寬溫度范圍的魯棒常開(kāi)模式。

多年來(lái)，士蘭微電子和西安電子科技大學(xué)憑借各自在半導(dǎo)體領(lǐng)域的優(yōu)勢(shì)，圍繞技術(shù)研發(fā)、人才培養(yǎng)、成果轉(zhuǎn)化等多個(gè)方面開(kāi)展了深入合作。此次合作成果的入選，不僅彰顯了雙方在集成電路領(lǐng)域的卓越研發(fā)實(shí)力，也標(biāo)志著產(chǎn)學(xué)研合作在推動(dòng)技術(shù)創(chuàng)新方面取得了新的突破。相關(guān)技術(shù)將應(yīng)用于士蘭微公司下一代 MEMS 六軸傳感器芯片產(chǎn)品。