2025年2月16日至20日,第72屆ISSCC(國際固態(tài)電路會議)在美國舊金山召開。杭州士蘭微電子股份有限公司(以下簡稱士蘭微)與西安電子科技大學朱樟明、鐘龍杰團隊合作的論文《A 3-Axis MEMS Gyroscope with 2.8ms Wake-Up Time Enabled by a 1.5μW Always-On Drive Loop》成功入選,并在傳感器接口電路(Sensor Interfaces)分會場作為首篇文章進行報告,相關(guān)方案還在 Demo Session 2 分會場進行了現(xiàn)場展示。
ISSCC(International Solid-State Circuits Conference)國際固態(tài)電路會議始于 1953 年,是全球?qū)W術(shù)界和工業(yè)界公認的集成電路設計領(lǐng)域最高級別會議。ISSCC 通常是各個時期國際上最尖端集成電路技術(shù)的首發(fā)平臺,每年吸引數(shù)千名來自世界各地工業(yè)界和學術(shù)界的參會者。
針對 MEMS 陀螺儀的事件驅(qū)動應用需求,以及常開功耗與喚醒時間的約束,該論文提出了一種基于占空比自動尋優(yōu)突發(fā)模式鎖相環(huán)的常開驅(qū)動接口電路,通過基于 Bang-bang 控制的自動動態(tài)占空比調(diào)節(jié),實現(xiàn)了 1.5μW 的超低常開功耗、2.8ms 的快速喚醒時間,以及在 - 40~85°C 寬溫域內(nèi)的穩(wěn)定工作,在國際上常開功耗與喚醒時間的指標上實現(xiàn)了突破,并首次實現(xiàn)了寬溫度范圍的魯棒常開模式。
多年來,士蘭微電子和西安電子科技大學憑借各自在半導體領(lǐng)域的優(yōu)勢,圍繞技術(shù)研發(fā)、人才培養(yǎng)、成果轉(zhuǎn)化等多個方面開展了深入合作。此次合作成果的入選,不僅彰顯了雙方在集成電路領(lǐng)域的卓越研發(fā)實力,也標志著產(chǎn)學研合作在推動技術(shù)創(chuàng)新方面取得了新的突破。相關(guān)技術(shù)將應用于士蘭微公司下一代 MEMS 六軸傳感器芯片產(chǎn)品。

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